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5月22日，由中关村材料试验技术联盟（CSTM）组织的“半导体工业用电解抛光精密无缝管产品质量评价项目方案专家审定会”在常宝成功举行。本次会议汇聚了半导体产业链上下游的权威专家与代表，来自钢铁研究总院、CSTM、有研半导体、中国电子系统工程第二建设公司、富珖半导体、抚顺特钢、永兴特材、钢研纳克、深圳八六三等单位的二十余位产业链专家及企业代表参会。 
审定会上，CSTM专家组系统介绍了半导体工业用电解抛光精密无缝管产品质量评价方案，与会专家围绕评价指标体系、试验方法标准、工艺稳定性评价方案等进行深入研讨与质询。专家组一致认为，该质量评价方案以SEMI F19、SEMI F20等国际先进标准为基础，结合产业链实际需求构建了完整指标体系，覆盖管坯控制、热挤压、冷轧、冷拔、热处理、电解抛光、精密清洗等全流程，具有较强的科学性、系统性和可操作性。经审议，同意方案通过审定。 电解抛光精密无缝管（EP管）是半导体制造中气体输送、化学品供应系统的关键材料，其质量直接影响芯片良率与稳定性。本次审定会的成功召开，标志着国内半导体用电解抛光精密无缝管质量评价工作进入实质性实施阶段。CSTM将依据方案开展现场评价、实物抽检、工艺稳定性评价及试验技术能力认证等工作，为半导体产业链关键材料国产化提供有力支撑。 
本次评审会，与会专家实地参观了常宝特材事业部，对常宝质量管控和试验技术能力给予积极评价。目前，常宝特材事业部已建立从热挤压、冷轧、冷拔、光亮热处理到电解抛光、百级洁净室的全流程一贯制生产线，成功攻克超纯不锈钢原料制备、大变形量冷加工、超高洁净度电解抛光等核心技术。其中洁净管（BA/EP管）生产线电解抛光车间配备百级洁净室，产品表面粗糙度、表面化学、颗粒物控制等关键指标已达行业先进水平。后续，常宝将按照行业评价标准，加快推进常宝半导体工业用管的产品性能认证评价和客户认证，着力打造常宝在国产化市场的竞争力。 |
